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電子級氫氟酸

分子式:HF 分子量:20.01

產(chǎn)品標準:GB620-2011

 

級別 制程技術(shù) (um) 應用領(lǐng)域 金屬雜質(zhì) (ppb) 微粒子 (個(gè)/ml)
EL >1.2 光伏;TFT顯示屏LED ≦100 ≦25(≧1.0um )
UP 0.8-1.2 光伏;LED;玻璃薄化;顯示屏;IC芯片<6” ≦10 ≦25(≧0.5um )
UPS 0.2-0.6 LED;顯示屏;IC封裝;IC芯片≦6” ≦1 ≦5(≧0.5um )
UPSS 0.09-0.2 IC芯片8”;12” ≦0.1 (100ppt) ≦200(待議)( ≧0.2 um)
UPSSS 0.014-0.09 IC芯片12” ≦0.01 (10ppt) ≦20(≧0.1um)、≦10(≧0.2um)

 

性 狀:無(wú)色透明溶液,有強烈刺激性氣味,劇毒,并有強烈的腐蝕性。

用 途:用于化工、冶金、玻璃、礦山和石油開(kāi)采、光伏、原子能工業(yè)化學(xué)試劑、超高純氫氟酸應用于集成電路 ( I C)和超大規模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和蝕刻 。

貯 存:防潮、密封保存,貯存于通風(fēng)良好的庫房中。

運 輸:運輸中作為一級無(wú)機酸性腐蝕物品。

包 裝:依用戶(hù)要求充裝。

 

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